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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

东夏国南京城破城之门遗迹被发掘******

　　光明日报长春1月11日电 见习记者李层、记者任爽从吉林省文物考古研究所获悉，2020年度“全国十大考古新发现”之一——磨盘村山城遗址在被确认为东夏国南京城故址后，又在2022年度考古工作中有了新收获：元军攻进东夏国南京城破城之门遗迹被首次发掘，进一步印证了史料中当年此城被攻克的相关记载。

　　磨盘村山城遗址位于吉林省图们市长安镇磨盘村一处独立山体上，扼守延吉盆地最东缘，北、东、南三面被布尔哈通河环抱，地势险要，易守难攻。遗址自2013年以来由吉林省文物考古研究所进行考古发掘，发现早晚两期遗存。其中，晚期遗存即为东夏国南京城故址。

　　东夏国是13世纪中国东北地区一个割据政权。东夏国的南京城是其在金、元交替时期割据偏安、据险自守的要地。1233年，元军攻破南京城，继而平定东夏国土。至此，东夏灭亡，存国19年。

　　磨盘村山城遗址平面近阔叶形，可根据自然冲沟划分为东、南、西、北、中5个区，包含城门、角楼、城墙、房址、蓄水坑及大型建筑基址等遗迹。《元史》关于当年攻陷南京城有记载：（查剌）从国王军征万奴，围南京，城坚如立铁，查剌命偏将先警其东北，亲奋长槊大呼，登西南角，摧其飞橹，手斩陴卒数十人，大军乘之，遂克南京。由此对比各区城门遗迹，考古人员发现西区3号门址位于山城西南部，与史料相吻合，推定其为东夏国南京城破城之门。该门址在2022年度首次被发掘。

　　通过考古发掘，考古人员在西区3号门址发现了早晚两期门道。其中，晚期门道由黄沙土平铺，比早期门道高出1.26米，正中立置将军石，且在将军石南北两侧各有一块门枢础石，是东夏国南京城西门。

　　磨盘村山城遗址考古发掘领队苗诗钰补充：“经测量，门道宽约2米、残高2米多，门枢础石石孔直径约13厘米，推测西门不通马车、规模较小。加之西门地势陡峭。更多兵力可能会向规模较大、地势平坦的东门、北门等需要重兵布防的地方倾斜。”

　　西门西侧依山势修建了一处似瓮城的区域。苗诗钰说：“这一区域面积较大，约有2万多平方米，防御功能不如东门、北门等处严格意义上的瓮城。此外，还在西门内东北处发掘了一处房址。该房址距西门不到10米，面积不足20平方米，出土了东夏国一定数量的铁镞、礌石等武器。从房址位置、面积和出土遗物来看，此处应为城门值守士兵住所。”

　　苗诗钰分析：“山城如史料中记载‘城坚如立铁’。相比东、南、北三面环河，且主要门址处设有瓮城、布兵较多的坚固城防，西门虽借山险固守，但防御功能和力量略显不足。元军当年极有可能在考虑这些因素后，采取了‘先警其东北’和‘登西南角’这样声东击西的战术，并成功破城。”

　　在磨盘村山城遗址2022年度考古工作中，共清理遗迹9处、出土遗物642件，主要以陶器、陶质建筑构件、铁器为主。除发掘西门外，考古人员在中区24号房址中发现了保存基本完好的U形火炕，出土了陶砚台等可复原陶器10件和铁矛、石棋子等遗物。24号房址所在建筑群内多处小型房址和空台地间隔分布，说明每个房址都规划了相应的功能区。考古人员据此推断此建筑群为兵营。

　　《光明日报》（ 2023年01月12日 09版）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）